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王亮玲老师成功申请国家发明专利《一种制备周期极化 KTiOPO4 平面波导的方法》

恭喜王亮玲老师成功申请《一种制备周期极化 KTiOPO4 平面波导的方法》国家发明专利。

本发明涉及周期极化波导制备技术领域,特别涉及一种制备周期极化 KTiOPO4平面波导的方法 :采用离子注入的方法,在 KTiOPO4晶体内形成晶格损伤层 ;在 KTiOPO4晶体表面形成周期性光刻胶图形,在光刻基础上镀金属膜,清洗掉光刻胶,在 KTiOPO4晶体表面形成周期性结构的金属膜 ;将 KTiOPO4晶体进行离子交换,使表面不含有金属膜部分充分交换,并使交换区域的铁电畴发生反转,含有金属膜部分保持原有特性,清洗掉金
属膜后获得周期极化 KTiOPO
4平面波导结构。本发明的方法利用离子注入损伤层作为离子交换的阻挡层,对离子交换的深度与浓度进行有效的调控,使离子交换区域的铁电畴发生均匀反转,提高
倍频效率。